硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体
。硅烷即硅与氢的化合物
，是一系列化合物的总称
，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物
，通式为SinH2n+2
。其中
，甲硅烷最为常见
，有时也将甲硅烷简称为硅烷
。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾
。它对康健的主要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤
，若是严重甚至会致命
。若是火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在清静阀启动之前爆炸
。若是泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸
。走漏的硅烷如没有自燃会很是危险
，不要靠近
。处置惩罚紧迫情形的职员必需要有小我私家防护装备和顺应其时情形的防火；
。不要试图在切气绝源之前灭火
。

在反应瓶和加料漏斗里划分装入1.14g LiAlH4于70mL乙醚中的溶液和2.30mL SiCl4于50mL乙醚中的图硅烷的制备装置溶液
。在整个合成历程中
，把冷浴和指型冷却管划分坚持在-15～-20℃和-78.5℃
。将仪器抽闲后
，乙醚最先回流
，此时必需要注重阻止过多的骤沸
。然后
，将靠近反应装置的U形管吸收器冷却到-95℃(用甲苯冻膏)
，其余四个吸收器冷却到-196℃(液氮)
。在搅拌下
，用15min将SiCl4+乙醚溶液加入到LiAlH4悬浮液中
。为了阻止乙醚强烈回流
，使甲硅烷一连地以中等速率分出
。调理反应器和真空管路之间的玻璃活塞便可以容易地控制反应速率
。将SiCl4加完后
，继续搅拌15～20min
，以包管反应完全
。在此时代
，将反应器和真空系统切断以免乙醚逃逸过多
。当甲硅烷从真空系统排净之后
，将空气通入反应器
，拆开真空系统
。

硅烷气是太阳能电池生产历程中不可或缺的质料
，由于它是将硅分子附着于电池外貌的最有用方法
。在高于400℃的情形下
，硅烷气剖析成气态硅和氢气
。氢气燃烧后
，剩下的就是纯硅了
。别的
，硅烷气可以说是无处不在
。除了光伏工业外
，尚有许多制造工厂需要用到硅烷气
，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂
。

硅烷最早适用化和应用量最大的是作为生产高纯度硅的中心产品
，一样平常称为硅烷法
。向来生产高纯度硅的主要要领是三氯氢硅法(西门子法)
。

硅烷的又一应用是非晶半导体非晶硅
。与单晶半导体质料相比非晶硅的特点是容易形成极薄的(厚度10nm左右)大面积器件
，衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料
，外貌可以是平面也可是曲面
，因此可以制成种种性能优异的器件
。

硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体, 用于种种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等
。硅烷的微电子应用还在向纵深生长: 低温外延、选择外延、异质外延
。不但用于硅器件和硅集成电路
，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)
。在超晶格量子阱质料制备中也有应用

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。硅烷的纯度对器件性能和制品率关系极大
，更高级的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)
。

硅烷作为含硅薄膜和涂层的应用已从古板的微电子工业扩展到钢铁、机械、化工和光学等各个领域
。含硅涂层可使通俗钢的高温耐氧化能力提高到10万倍以上,也可使其它金属的高温化学稳固性大大改善
，使内燃机叶片的耐蚀性显着增强
，使种种质料和零件之间的粘结强度大幅度提高
，使汽车发念头零件的寿命延伸
，也可改变玻璃的反射和透射性能
，从而获得显著的节能和装饰效果
。在浮法玻璃生产历程中用硅烷在玻璃外貌涂敷一层反光层其粘附力极强在恒久阳光照射下不褪色, 透光率只有通俗玻璃的1 /3; 用氮化硅涂敷的大面积多晶硅电池( BSNSC) 已抵达15. 7%的高效率
。用硅烷气相沉积手艺制造种种含硅薄膜在高手艺中的应用还在与日俱增
。

硅烷尚有一潜在应用是制造高性能陶瓷发念头零件尤其是使用硅烷制造硅化物( Si3N4 , SiC等) 微粉手艺越来越受重视
。美、日等国正在花成亿美元开发用硅、氮化硅和碳化硅微粉制造耐高温、高强度、高化学稳固性陶瓷
。使用硅烷气相反应的要领制备的微粉纯度最高, 粒度细而匀, 可使陶瓷零部件性能大大提高
。其应用领域极广, 例如汽车发念头的阀门和透平增压器转子已适用化, 高速轴承和高性能刀具已商品化, 用于内燃机可使事情温度高达1400℃ , 大大提高热机效率, 适用多种燃料, 延伸使用寿命; 别的还可作为火箭的隔热瓦和隐身；げ